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砷化镓单晶脱氧炉

价格 ¥180000.00

起订量 ≥1台

产品类型

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方式	左/右手操作方式，水平卧式	可配工艺管数量	1管系统
气体流量控制	浮子流量计	送料方式	手动
使用类型	3-6寸炉管	可加工硅棒尺寸	3-6寸
工作温度	600～1290℃	炉管有效口径	￠150-240mm
总功率	15-25KVA/管	保温功率	6-15KVA/管
三相五线制	380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线	报警	具有超温报警，断偶报警，气体互锁等功能
恒温区长度及段数	高温区500mm（8段控温）低温区300mm（3段控温）	控温精度	±0.5℃（≧1200℃）
单点温度稳定性	±1℃/12h	控温方式	触摸屏+ PLC控制
触摸屏+ PLC控制	热电偶采用K/S/R型，每管Spike 13支热偶	真空度	5*10-4Mpa
可控升温范围max	(600～1300℃)0--15℃/min	可控降温范围max	(1300～600℃)0--10℃/min
设备总外形尺寸	根据设备配置不同,尺寸有所不同

图文详情 Product details

联系方式 Contact information

青岛育豪微电子设备有限公司
陈庆建
13864877323
青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号

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联系姓名：陈庆建
电话号码： 13864877323
经营模式：生产厂家
企业勋章：
所在地区：山东-青岛
主营产品：半导体微电子设备

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