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| 方式 | 左/右手操作方式,垂直提拉 | 可配工艺管数量 | 1管系统 |
| 送料方式 | 手动 | 使用类型 | 3-6寸炉管 |
| 可加工砷化镓晶体尺寸 | 3-6寸 | 装料量 | 10KG/炉 |
| 温区长度 | 400-800mm | 工作温度 | 600~1310℃ |
| 炉管有效口径 | ¢100-180mm | 升降行程 | 1000mm |
| 升降速率max | 1mm/min | 总功率 | 12-25KVA/管 保温功率:6-12KVA/管 |
| 三相五线制 | 380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线 | 报警 | 具有超温报警,断偶报警,气体互锁等功能 |
| 恒温区长度及段数 | 高温区500mm(8段控温)低温区300mm(3段控温) | 控温精度 | ±0.5℃(≧1200℃) |
| 单点温度稳定性 | ±1℃/12h | 控温方式 | 电脑+ PLC控制 |
| 热偶类型 | 热电偶采用S/R型,每管Spike 4-7支热偶 | 可控升温范围max | (600~1300℃)0--15℃/min |
| 可控降温范围max | (1300~600℃)0--10℃/min | 设备总外形尺寸 | 根据设备配置不同,尺寸有所不同 |
图文详情
Product details
联系方式
Contact information
- 青岛育豪微电子设备有限公司
- 陈庆建
- 13864877323
- 青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
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