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| 型号 | YX-VP90 Plasma | 接收定制服务 | 5L,10L,30L,90L,120L,200L |
| 主机体尺寸 | 900(W)×1720(H)×1000(D)mm | 重量 | 标准机型：450KG |
| 真空室规格 | 450（W）*470（D）*450(H)mm | 材料 | 进口航空镁铝合金 |
| 电极板规格 | 405（w）*380（d）mm | 层数及间距 | 8层水平分布，间距45mm |
| 真空泵 | ULAVC-60m3/h | 全自动控制 | 西门子PLC+MCGS触摸屏，全中文 |
| 功率@频率 | RF电源 500W@13.56MHz | 气体流量计 | S-STAR 2通道0-300sccm |
| 输入气压监测 | 2路进气SMC气压表（含过滤、低压报警） | 真空计 | ULAVC真空计 |
| 破真空阀门 | 日本CKD气动阀门 | 挡板阀 | 高真空进口挡板阀KF40 |
| 电磁阀 | 2路日本SMC进气真空电磁阀 | 控制方式 | 德国西门子PLC & 人机界面 |
| 电力 | 三相五线AC380 50/60Hz | 压缩空气 | 0.4-0.6MPa |
| 工艺气体 | O2 N2 H2 Ar | 排气管道接口 | KF40 |
| 单次处理时间 | 工艺不同，处理时间不同，表面活化改性3-10min | 工作真空度 | 20-50Pa |
| 真空泵极限压力 | 5.0*10~-1 Pa | 抽真空时间 | ≤80S |
| 破真空时间 | ≤20S | 等离子电源功率 | 500W |
| 流量计调节范围 | 300sccm | 稳定功率 | 4KW |
| 机台供电 | AC380 50/60Hz | 腔体容积 | 90L(450*470*450)mm |
图文详情
Product details
联系方式
Contact information
- 东莞市易效智能科技有限公司
- 赵先生
- 18124306785
- 广东省东莞市东城街道下桥银门街30号益明科技产业园1栋3楼
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- 联系姓名： 赵先生
- 电话号码： 18124306785
- 经营模式：销售供应
- 企业勋章：
- 所在地区：广东-东莞
- 主营产品：设计、研发及技术转让：智能自动化设备；产销及维修：智能自动化设备、精密模具、冶具、电子产品、玩具及机器人；货物及技术进出口。
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