等离子净化器又称低温等离子废气净化器。

本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

1、微波激发区：本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。

2、低温等离子体激发：本工艺有40支至240支充有特殊气体的管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无灯作为低温等离子体的激发体，限度地在无管区实现低温等离子体区

由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有强的能量平衡性，在粒子撞击中失能所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，的科题在于低气压究竟是多少帕？板间加以足够高的电压，在引风的作用下，区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。

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