| 品牌 | 大塚电子Otsuka | 用途 | 测量项目 反射率测量 膜厚解析（10层 |
| 材质 | 大塚电子Otsuka膜厚量测仪 | 型号 | FE-300 |
| 产品 | 膜厚量测仪 |
苏州杉本有售大塚电子Otsuka膜厚量测仪 FE-300
苏州市新杉本电子科技有限公司/代理 直供 日本各类工业品/联系人陈小姐13451564111
特 长
薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析
高性能的低价光学薄膜量测仪
藉由绝对反射率光谱分析膜厚
完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能
无复杂设定，操作简单，短時間內即可上手
线性最小平方法解析光学常数（n:折射率、k:消光系数）
测量项目
绝对反射率测量
膜厚解析（10层）
光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）
产品规格
FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR※1 | ||
|---|---|---|---|---|
对应膜厚 | 标准型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 超厚膜型 |
样品尺寸 | 最大8寸晶圆（厚度5mm） | |||
膜厚范围 | 100nm ~ 40μm | 10nm ~ 20μm | 3μm ~ 300μm | 15μm ~ 1.5mm |
波长范围 | 450nm ~ 780nm | 300nm ~ 800nm | 900nm ~ 1600nm | 1470nm ~ 1600nm |
膜厚精度 | ±0.2nm以內※2 | - | ||
重复再现性（2σ） | ±0.1nm以內※3 | - | ||
测量时间 | 0.1s ~ 10s以內 | |||
量测口径 | 约φ3mm | |||
光源 | 鹵素灯 | UV用D2灯 | 鹵素灯 | 鹵素灯 |
通讯界面 | USB | |||
尺寸重量 | 280（W）× 570（D）×350（H）mm，约24kg | |||
软体功能 | ||||
标准功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、最适化法解析、最小二乘法解析 | |||
选配功能 | 材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析 | |||
※1 请于本公公司联系联系我们
※2 对比VLSI标准样品（100nm SiO2/Si），范围值同保证书所记载
※3 测量VLSI标准样品（100nm SiO2/Si）同一点位时之重复再现性。（扩充系数2.1）
应用范围
半导体晶圆膜（光阻、SOI、SiO2等）
光学薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
测量范例
PET基板上的DLC膜
Si基板上的SiNx
苏州市新杉本电子科技有限公司/代理 直供 日本各类工业品/联系人陈小姐13451564111
- 苏州市新杉本电子科技有限公司
- 陈小姐
- 15250013623
- 苏州市高新区滨河路588号赛格电子市场B-708
-
SSD 离子棒
¥4700
-
长期供应 大冢光学OTSUKA FE-300 膜厚量测仪
¥10000
- KK-5000WE 仓敷纺绩 南京杉本有售 真空脱泡机
- KK-5000WE 仓敷纺绩 安徽杉本有售 真空脱泡机
- KK-5000WE 仓敷纺绩 安徽杉本有售 真空脱泡机
- KK-5000W 仓敷纺绩 安徽杉本有售 真空脱泡机
- KK-V3500 仓敷纺绩 安徽杉本有售 真空脱泡机
- KK-400WE 仓敷纺绩 安徽杉本有售 真空脱泡机
- KK-400WE 仓敷纺绩 苏州杉本有售 真空脱泡机
- KK-300SSE 仓敷纺绩 苏州杉本有售 真空脱泡机
- KK-300SS 仓敷纺绩 苏州杉本有售 真空脱泡机
- KK-400W 仓敷纺绩 苏州杉本有售 真空脱泡机
- 苏州杉本在售honda-elW-113MKII 卓上型超音波洗浄機
- 苏州杉本在售honda-el本多W-113A卓上型超音波洗浄機
- 联系姓名： 陈小姐
- 电话号码： 15250013623
- 经营模式：生产厂家
- 企业勋章：
- 所在地区：江苏-苏州
- 主营产品：MRO综合服务商 代理经销各类日本工业品、耗材、设备、工具、光源等。 日本白光 HAKKO, 日本邦可BONKOTE,美国奥科 METCAL（代理）, 美国 MEISEI，日本ELMECH，日本中岛铜工 KOTELYZER，日本石崎 SURE日本特古罗 TECHNO，日本高千穗 TAKACHIHO，日本小松 KOMATSU，日本索勒克斯 SOLEX 日本马康 MALCOM（代理）, 韩国用友UISYS、日本井野内 MECT、日本岩下 IEI、日本武藏MUSASHI、日本太河TAEHA、美国泰康Techcon、日本TOMIX 日本西西蒂 SSD（代理），日本威威 VESSEL（代理），韩国VSI,日本春日 KASUGA,日本藤宫 HUGLE,日本思美高 SIMCO，日本高柳 TRINC，日本薮内YHK,日本大浩研热 DAICO，日本 IMPREX，日本GS,日本 OHM 日本威威 VESSEL（代理）, 日本 DELVO达威 日本速度 SOKUDOU（代理）,韩国世韩 SEHAN 日本思达CEDAR（有优势）、日本快取/大武QUCHIER（代理） 日本爱录睦 ELM（代理），日本古藤 FURUTO（代理），韩国宏锦 HONGJIN ，日本优质素 YAESU，日本米其邦 NICHIBAN、日本古河 UNIC，日本中兴化成 CHUKOH（有优势），日本 KAIJO、日本铃木 SUZUKI（有优势） 日本日压 JST（有优势）, 日本碧铄科 PISCO（代理） 日本CHIYODA千代田 德国安度ASIMETO、日本SHIMPO 东洋CUSTOM、千野CHINO、小野ONOSOKKI 日本宝山 HOZAN（代理）、日本虾牌LOBSTER（有优势） 日本中山 TRUSCO（代理），日本扶桑精机 FUSOSEIKI（有优势）,日本淀川 YODOGAWA, 日本 TASCO,日本栗田 KURITA,日本长谷川 HASEGAWA，日本东邦机工 HIT,日本 OH,日本今尾 IMAO,日本产机 CACTUS,日本山本光学YAMAMOTO，日本鬼头 KITO，日本 TOHO-RUBBER东邦，日本 ASADA浅田，日本千代田 CHIYODA, 日本昭和电机 SHOWA（有优势），日本松阪铁工 MCC, 日本福禄帕 FURUPLA，日本 AQUA,日本若穗田 WISE, 日本ESCO、中山TRUSCO（代理）、日本亚斯旺ASONE HOZAN（代理）、淀川(代理）、古藤(代理）、3M（代理）、METCAL(代理）、NITTO代理、HAKKO EIGHTRON（八兴(代理）、MALCOM代理、KURABO代理、PISCO代理、SSD代理、SUIDEN瑞电代理、OPK代理、ELM代理、BONKOT代理