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品牌 | 郑科探 | 工作电流 | 不大于3.5A(不含真空泵) |
供电电源 | AC220V(AC110V可选) | 型号 | KT-S2DQX型 |
产品 | 等离子清洗机 | 特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 |
射频电源功率 | 150W | 耦合方式 | 电容耦合 |
射频频率 | 13.56MHz | 真空度 | ≤100Pa |
频率偏移量 | <0.2MHz | 腔体材质 | 石英 |
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) | 观察窗内径 | Φ65 |
气体流量 | 10—100ml/min(其他量程可选) | 清洗时间 | 手动开关 |
过程控制 | 过程手动控制 | 开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
外形尺寸 | 400x380x360mm | 重量 | 23Kg |
真空室温度 | 小于65°C | 冷却方式 | 强制风冷 |
图文详情
Product details
联系方式
Contact information
- 郑州科探仪器设备有限公司
- 邱工
- 15286826848
- 河南省郑州市西三环大学科技园创新园6幢K座3层
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- 联系姓名: 邱工
- 电话号码: 15286826848
- 经营模式:生产厂家
- 企业勋章:
- 所在地区:河南-郑州
- 主营产品:实验电炉 供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封管机 真空探针台 传感器 半导体等。
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