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品牌 | 思美高SIMCO | 离子生成方法 | 电晕放电式 高频交流方式 |
输入电压 | 24V DC+/-5% 6W Typ. | 型号 | 4214 |
特点 | 采用超低颗粒单晶硅电极。 独特的清洁机制,不向外部发射颗粒,确保长期稳定的清洁度 |
图文详情
Product details
苏州市新杉本电子科技有限公司长期供应各类日本工业品,大量库存 价格优惠,联系人胡小姐15250451177
扩展 ISO 类 1,10nm 内联 N2 电离器型号 4214
按功能[内联电离器]
型号 4214 电离器即使在高纯度 N2 环境中也能支持"扩展 ISO 1,10nm"的高清洁度,并实现出色的离子平衡。
特点
采用超低颗粒单晶硅电极。
独特的清洁机制,不向外部发射颗粒,确保长期稳定的清洁度
采用无需调整的智能控制电路
内部传感器持续监控离子生成,实现可靠的除静电
集成紧凑的设计,内置控制器和电源
低流量时自动高压关断功能可保护产品
适用于先进半导体制造工艺和其他超低颗粒应用
24V 直流驱动
规格
输入电压 | 24V DC+/-5% 6W Typ. |
---|---|
离子平衡 | <+/-25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接 |
除静电时间 | < 10sec 150mm 距离 40LPM 无 管道连接 +/-1kv → +/- 100v 带充电板监视器 |
离子生成方法 | 电晕放电式 高频交流方式 |
清洁度 | ISO Class1,0.1 micron"扩展 ISO 类 1,10nm"* |
电极 | 单晶硅可互换 |
兼容的净化气体 | N2 > 99.998% |
流量 | 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa) |
最大清除压力 | 207Kpa(=100LPM 流量) |
最大气体温度 | 60deg C |
N2 清除连接 | Swagelok3/8" OD 配管 |
电离N2连接 | 1/4NPT 母螺钉连接器或选件接头 28-25710-SC 上的 Swagelok1/2" OD 管道连接 |
工作温度范围 | 15~60deg C |
信号输出 | 通过打开/关闭触点发出警报和离子降低输出 |
尺寸 | 长度 152.4mm x 宽度 72.4mm x 深度 32mm 不包括管道部分 |
重量 | 640g |
外部 | 不锈钢 |
如何安装 | 背面M5螺钉 螺纹长度小于10mm |
对于
扩展 ISO 类 1,10nm,这是 ION 系统为支持微粒子管理而单独定义的清洁度的定义。 ISO14644-1 以最小颗粒直径 100nm 定义。 扩展 ISO 类 1,10nm 使用与 ISO 14644-1 相同的允许粒子数的计算公式,允许颗粒数为 1200pc/m3(34 pc/ft3),粒径为 10nm 或更高。
联系方式
Contact information
- 苏州市新杉本电子科技有限公司
- 陈小姐
- 15250013623
- 苏州市高新区滨河路588号赛格电子市场B-708
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- 联系姓名: 陈小姐
- 电话号码: 15250013623
- 经营模式:生产厂家
- 企业勋章:
- 所在地区:江苏-苏州
- 主营产品:MRO综合服务商 代理经销各类日本工业品、耗材、设备、工具、光源等。 日本白光 HAKKO, 日本邦可BONKOTE,美国奥科 METCAL(代理), 美国 MEISEI,日本ELMECH,日本中岛铜工 KOTELYZER,日本石崎 SURE日本特古罗 TECHNO,日本高千穗 TAKACHIHO,日本小松 KOMATSU,日本索勒克斯 SOLEX 日本马康 MALCOM(代理), 韩国用友UISYS、日本井野内 MECT、日本岩下 IEI、日本武藏MUSASHI、日本太河TAEHA、美国泰康Techcon、日本TOMIX 日本西西蒂 SSD(代理),日本威威 VESSEL(代理),韩国VSI,日本春日 KASUGA,日本藤宫 HUGLE,日本思美高 SIMCO,日本高柳 TRINC,日本薮内YHK,日本大浩研热 DAICO,日本 IMPREX,日本GS,日本 OHM 日本威威 VESSEL(代理), 日本 DELVO达威 日本速度 SOKUDOU(代理),韩国世韩 SEHAN 日本思达CEDAR(有优势)、日本快取/大武QUCHIER(代理) 日本爱录睦 ELM(代理),日本古藤 FURUTO(代理),韩国宏锦 HONGJIN ,日本优质素 YAESU,日本米其邦 NICHIBAN、日本古河 UNIC,日本中兴化成 CHUKOH(有优势),日本 KAIJO、日本铃木 SUZUKI(有优势) 日本日压 JST(有优势), 日本碧铄科 PISCO(代理) 日本CHIYODA千代田 德国安度ASIMETO、日本SHIMPO 东洋CUSTOM、千野CHINO、小野ONOSOKKI 日本宝山 HOZAN(代理)、日本虾牌LOBSTER(有优势) 日本中山 TRUSCO(代理),日本扶桑精机 FUSOSEIKI(有优势),日本淀川 YODOGAWA, 日本 TASCO,日本栗田 KURITA,日本长谷川 HASEGAWA,日本东邦机工 HIT,日本 OH,日本今尾 IMAO,日本产机 CACTUS,日本山本光学YAMAMOTO,日本鬼头 KITO,日本 TOHO-RUBBER东邦,日本 ASADA浅田,日本千代田 CHIYODA, 日本昭和电机 SHOWA(有优势),日本松阪铁工 MCC, 日本福禄帕 FURUPLA,日本 AQUA,日本若穗田 WISE, 日本ESCO、中山TRUSCO(代理)、日本亚斯旺ASONE HOZAN(代理)、淀川(代理)、古藤(代理)、3M(代理)、METCAL(代理)、NITTO代理、HAKKO EIGHTRON(八兴(代理)、MALCOM代理、KURABO代理、PISCO代理、SSD代理、SUIDEN瑞电代理、OPK代理、ELM代理、BONKOT代理
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