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工作温度 | 200-1000℃(高温小于800℃) | 控制精度 | ≤±1.0℃ |
恒温区长度 | 定制 | 开机重复性 | ≤±1.0℃ |
冷态真空度 | 10-1Pa | 石英真空室内径 | 定制 |
控制仪表 | 日本岛电公司原装进口控温仪 | 环境温度 | 10~45℃ |
相对湿度 | ≤85% | 供电电源 | 三相五线380V±10% 50Hz |
可用气氛 | H2,N2 | 可配工艺管数量 | 1~4管/台 |
工作温度范围 | 200~1000℃ | 恒温区长度及精度 | 300~900mm 600~1000℃±0.5℃ |
单点温度稳定性 | 600~1000℃±0.5℃/24h | 可控升温速度max | 15℃/min |
降温速度max | 15℃/min |
图文详情
Product details
联系方式
Contact information
- 青岛育豪微电子设备有限公司
- 陈庆建
- 13864877323
- 青岛市城阳区流亭工业园协荣路3号
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