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品牌 | 恩纳基 | 型号 | PL20-MA |
电源频率 | 40 KHz / 13.56 MHz | 功率 | 0-1000 W(可调) |
真空泵 | 5-100 Pa(可调) | 气体通道 | 两路(可增加):Ar、N2,H2、CF4、O2 |
腔体尺寸(WxDxH) | 400*450*400 mm 、500*450*500 mm、500*500*600 mm 、500*600*600 mm、500×580×700 mm | 外形尺寸(WxDxH) | 1000*1030*1630 mm、 1100*1030*1680 mm、 1200*1100*1730 mm、 1200*1200*1730 mm、 1250*1230*1790 mm |
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联系方式
Contact information
- 恩纳基智能科技无锡有限公司
- 陈先生
- 19951157456
- 江苏省无锡市梁溪区会岸路90号金山北科技产业园C区8栋
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