小型等离子清洗机GDR-30PR

>> 产品特点

  台式小型机，PLC人机自动控制，内部无电极，用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

>> 技术参数   

 ◆ 设备外形尺寸

  630(W)×650(D)×420(H)mm

 ◆ 仓体结构(合金铝，约30升) 

  290(W)×290(H)×360(D)mm

 ◆ 放电电极(内置电容耦合电极)

  180(W) ×210(D) mm

 ◆ 等离子发生器

  频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

  可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)

 ◆ 控制系统

   触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等电器元件, 并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统

  德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)

  SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

 ◆ 压力控制

  PID闭环自动稳压控制

 ◆ 气路系统

   2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路

>> 相关应用  

  - 光刻胶清洗 

  - 表面改性