APR射频辉光等离子 | APR-500大气等离子清洗机

APR-500大气压等离子清洗机广泛应用在显示器、手机、半导体、汽车、玻璃、薄膜、聚合物、生物领域的金属和非金属的表面处理工序。因装载方便，适用于各种自动化制程和连续制程。我公司的射频辉光直接式大气压等离子清洗机几乎不产生臭氧或氮氧化物，跟臭氧和UV灯相比具有100倍以上的清洁效果，跟真空等离子体相比有10倍以上的工作效率，去除有机物、表面活化、去除静电等性能优异，同时还可广泛用于各种带线路材料的灰化、蚀刻、微氧化表面的还原等表面处理。

◆ 产品特点

- 可用于大气压在线式等离子表面处理。

- 方案环保，改善制程良率，有效降低生产成本。

- 可用于玻璃、薄膜、PCB板、液晶屏的多种材质的表面处理。

- 降低气耗与功耗（占常规方案消耗量的1/20～1/30）

- 不会造成二次污染的环保等离子。

◆ 应用范围

>> FPD

  LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。

>> TSP

  触摸屏的主要工艺的清洗，提高OCA/OCR，压层，ACF，AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力，为去除气泡/异物，通过多种大气压等离子形态的运用，可以将各种玻璃，薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。

>> 半导体

  半导体成型工艺，刻模工艺&焊接工艺，焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力，和引线框架的安装和粘接力，板材和焊球之间的粘结力，防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 。